原子レベル材料の微細構造を3Dで視覚化するAPTとは? 10年後の「標準化」目指す分析技術のすべて

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Kimika Instruments プロダクトマネジメント 事業開発ディレクター
David Larson博士インタビューより

米国の「半導体を理解する:研究室から工場までの最新計測技術」というポッドキャストでは、業界の各分野のプロフェッショナルを対象にしたインタビューを掲載している。
今回は、日本のアルギン酸メーカー株式会社キミカでプロダクトマネジメントおよび事業開発のディレクターを務める米国のDavid Larson博士をゲストに、半導体開発分野における原子プローブ技術の実用化について聞いている。この記事ではこのインタビューの要旨をお伝えする。

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