2025年10月7–9日に開催された「SEMICON West 2025(米アリゾナ州フェニックス)」は、前工程・後工程を問わず「装置・センサ・MES(製造実行システム)・アナリティクス(分析)をAPI(窓口や接点)で緩やかに結ぶ」流れをはっきりと示したイベントだった。
会場では、従来のSECS/GEM(装置と上位をつなぐ基本通信)やGEM300(300mm用の一連標準)を土台に、Interface A(SEMI EDA)とEDA共通メタデータ(E164)を活用した高頻度データ配信、レシピ管理・可搬性の強化(E170ほか)、FDC(Fault Detection & Classification)/R2R(Run-to-Run)制御の精度向上、デジタルスレッド/トレーサビリティの拡張——といった、最新のデータ標準とAPIが前面に出されていた。
装置でも、アプライド マテリアルズによる新製品群発表や、NVIDIAによるデジタルツイン/スマートマニュファクチャリングを軸に据えた基調講演など、“データで歩留まりと保全を動かす”現実解が示された。本稿では、最新のデータ標準とAPI、そしてベンダ実装の両輪から、量産ボトルネック(検査・歩留まり・保全)対策の最新動向を整理する。
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