AEC/APC（Advanced Equipment Control/Advanced Process Control）2025が、11月25日-26日に福岡にて開催されます。
AEC/APC Symposiumは、半導体製造におけるデータドリブンなAEC/APCを中心に、最先端の半導体生産技術を議論する重要な国際シンポジウムとしての位置づけを確立しており、半導体製造工程制御領域のエキスパートが世界中から集まる国際会議です。
東京エレクトロン(TEL)は、2011年よりプラチナスポンサーとして協賛しています。2名が論文委員として参加するほか、「ドメイン知識とAI/MLの融合によるAECAPCの進化」をテーマにおこなわれる今年のシンポジウムにおいては、チュートリアル１名、オーラルスピーチ2名、セッションチェア1名を予定しています。
皆さまのご来場をお待ちしております。
November 25
14:15-14:35,
Session 1 DA-019
The Integration of Machine Learning and Equipment Knowledge: Two Approaches to Film Deposition Data Analysis
Huizhen Bu, Tokyo Electron Technology Solutions
16:50-17:10
Session 2 DA-020
Semi-Automatic Critical Dimension Measurement Method in SEM Image with Critical Point Mapping Algorithm
Takahiro Nakamura, Tokyo Electron
November 26
9:50-11:40
Session 3
Session Co-Chairs: Hisato Tanaka, Tokyo Electron / Tomoya Tanaka, Tower Partners Semiconductor
Tutorial speech 2
11:40-12:25
Tutorial 2
Process Informatics in Semiconductor Manufacturing
Hironori Moki, Tokyo Electron
関連リンク
AEC/APC Symposium Asia 2025
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