ASML、SEMICON India 2025でホリスティックリソグラフィーソリューションを展示

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半導体リソグラフィの世界的リーダーであるASMLは、SEMICON India 2025に初出展し、成長を続けるインドの半導体産業への支援へのコミットメントを強調しました。同社は、リソグラフィシステム、計算ソフトウェア、計測、検査ソリューションを統合した包括的なリソグラフィポートフォリオを展示しました。

インドの半導体市場は、スマートフォン、自動車、5G IoTの堅調な需要と政府の強力な支援により、2026年には550億米ドル、2030年には1,000億米ドルを超えると予測されています。ASMLの先進リソグラフィ技術は、インドの半導体メーカーが、より小型で高性能なチップを製造し、歩留まりと性能を向上させ、コスト効率の高い大量生産を実現する上で最適な位置にあります。

ASMLの包括的なリソグラフィアプローチは、先進リソグラフィシステム、計算リソグラフィソフトウェア、計測、検査ツールという3つの主要製品カテゴリーを統合しています。

リソグラフィシステムは、光を用いてシリコンウェーハ上にナノメートル単位の精度で複雑なパターンを描画する基盤として機能します。

計算リソグラフィソフトウェアは、自動制御ループとインライン調整を可能にし、性能と歩留まりを最適化します。

計測システムは重要な寸法とオーバーレイ精度を測定し、検査システムは欠陥を検出してプロセスの安定性を確保します。

ASMLは、リソグラフィシステムと計算リソグラフィ、計測、検査ツールを組み合わせることで、半導体メーカーのプロセスウィンドウの最大化、エッジ配置エラーの削減、そして1日あたりの良品ウェーハ数の増加を支援します。インドの新興ファブは、包括的なリソグラフィを活用することで、生産能力のスムーズな立ち上げと、イノベーションと競争力を可能にする拡張性の高い将来を見据えた技術へのアクセスを実現できます。

ASML社長兼CEOのクリストフ・フーケ氏は、SEMICON India 2025で基調講演を行い、次のように述べました。「インドは、投資、強力な人材プール、そして政府からの明確な支援により、半導体産業における野心的な発展において前進を見せています。インドのビジョンは世界の半導体産業を強化するものであり、私たちはこれを歓迎します。ASMLは今回初めてSEMICON Indiaに参加します。インドの半導体産業についてより深く学び、新たな関係を構築し、機会を創出していくことを楽しみにしています。」

出典: 元記事を読む

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