この記事のポイント
- AIの拡大がDRAM需要を急増させ、供給能力の限界を超えている。
- Lam Researchは、専門ツールと迅速な対応で、DRAM製造の効率、歩留まり、コスト削減を支援する。
- 同社は、最先端のエッチング、成膜、パターニング技術で、DRAMスケーリングの課題解決に貢献する。
- 自動化やAIを活用したツールで、生産ラインの稼働率向上と効率化を実現する。
AIブームがDRAM市場に与える影響
AI技術の目覚ましい発展は、DRAM（Dynamic Random Access Memory）に対するかつてないほどの需要を生み出しています。DRAMは、コンピューティングにおいてデータを一時的に保存し、アプリケーションの実行やオペレーティングシステムの読み込みといった迅速なデータアクセスを可能にする重要な役割を担っています。
AIモデルが高度化し、データスループットへの要求が増大するにつれて、パフォーマンスはメモリによって制約されることが多くなっています。このため、DRAMはAIモデルのトレーニングと推論プロセスの両方において、主要なボトルネックとなっています。この状況を受け、半導体業界はDRAMの生産能力を急速に拡大するプレッシャーに直面しています。
実際、Counterpointの2月発表のメモリ価格トラッカーによると、2026年の第1四半期におけるメモリ価格は、四半期比で80%〜90%も上昇しており、これは前例のない記録的な急騰となっています。
Lam ResearchのDRAM製造支援戦略
Lam Researchは、常に次世代を見据えた技術革新を加速させることで、今日のチップメーカーが求めるソリューションを提供しています。
半導体業界の生産性向上をジャンプスタート
Lam ResearchのCEOであるTim Archerは、従業員向けの会議で、顧客の生産立ち上げを支援する同社の迅速な進捗について共有しました。
Lam Researchは、ワークフローの合理化、自動化の導入、AIを活用したボトルネックの解消、チーム間の連携促進などを通じて、プロセスのできるだけ早い段階から顧客を支援しています。
また、顧客をサポートするために、ファブ（半導体製造工場）の近接地にオフィスやラボへの投資も行っています。
最近では、Micron Technologyが製造能力を拡大するにあたり、エンジニアリングおよびハンズオンサポートを提供するため、アイダホ州ボイシでの拠点を拡大したことが発表されました。
Lam ResearchのDRAM向けツールとソリューション
Lam Researchは、業界が直面する最も困難な技術要件に対応するツールを提供することで、すでに生産の加速を支援しています。
Akara®：高精度エッチング
Akaraは、最先端DRAMノード開発において、すべての主要DRAMメモリメーカーに採用されています。Akaraのオングストロームレベルの精度（垂直および側方構造の両方）は、メーカーが最新DRAMデバイスに要求される微細な特徴サイズを実現し、DRAMのロードマップを延長するのに役立ちます。
Aether®：先進パターニング向けドライレジスト
Aetherは、Lam Researchの画期的な業界初のドライレジスト技術であり、20nm未満の特徴を高い生産性でパターニングすることを可能にします。従来のウェットレジスト技術と比較して、Aetherドライレジストは、特に微細ピッチの特徴において、より高い解像度と低い欠陥率を実現します。また、パターニングを単一ステップで簡素化できるため、コスト削減と効率向上に貢献します。
ALTUS® Halo：ワードライン向けモリブデンフィル
Altus Haloは、Lam Research独自のモリブデン（Mo）プロセスを先進DRAMおよびNANDデバイスに適用し、デバイスの速度と信頼性に必要な、ボイドがなく低抵抗のワードラインを実現します。これは、3D DRAMで使用される微細なクリティカルディメンション（CD）、高アスペクト比（HAR）の特徴を効果的に埋め込むことを可能にするように設計されています。
Striker®：スーパーコンフォーマルギャップフィル向け原子層堆積（ALD）
Strikerは、主要DRAMファブで、誘電体ギャップフィル、スペーサー、およびバリア層の原子層堆積（ALD）に広く展開されています。Lam ResearchのALD技術は、従来のCVD手法を上回る100%のコンフォーマリティを実現し、堆積速度は最大2倍高速です。Strikerのシームレスで高密度の高アスペクト比（HAR）構造の充填は、DRAMを4F2密度にスケーリングし、3D DRAMの要求を満たすことをサポートします。
稼働時間の増加
Lam Researchのコボット（協働ロボット）と自動化は、ツールの稼働時間とスループットを向上させ、メーカーがDRAMの需要に応えるのを支援します。
Dextro™のようなコボットは、反復作業を実行し、ダウンタイムを削減することで、技術者を安全に支援します。
Lam ResearchのEquipment Intelligence®は、リアルタイム分析とAIを活用して、ツールの状態を監視し、メンテナンスの必要性を予測し、効率を改善します。
AIがコンピューティングの景観を再構築し続ける中、DRAMを迅速かつ確実にスケーリングする能力は、メモリメーカーにとって重要な差別化要因となっています。Lam Researchは、先進的なエッチング、成膜、パターニング技術を通じて、顧客が今日の最も困難な課題を克服し、生産を加速できるよう支援しています。
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