「目に見えない障害」が工場を止める！――真空ポンプ・排ガス処理・チラーに集まるサブファブ投資
半導体工場の競争力を語るとき、注目は露光、成膜、エッチング、CMPといった主装置に集まりやすい。だが、量産現場の稼ぐ力を左右する起点は、必ずしも表側の装置だけではない。真空が安定しない、排ガス処理能
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