NANDが灯した再挑戦 ― 現場から見た半導体の再生
取材・文：SEMICON.TODAY編集部
■ プロフィール
長谷川 功宏（はせがわ・のりひろ）氏
1982年大阪大学工学部卒業後、東京芝浦電気株式会社（現・東芝）入社。プラズマを用いた微細加工技術開発に従事。IBM、Siemensとの共同開発を経て、四日市工場でDRAM・NAND Flashメモリーの量産技術を担当。
2007年博士（工学）取得。東芝執行役常務、上席常務として生産企画・調達・生産技術を統括。現在は株式会社ジェイテックコーポレーション社外取締役のほか、名古屋大学低温プラズマ科学研究センター客員教授、大阪大学工学部招聘教授として産学連携にも携わる。
■プラズマ微細加工との出会い
「現場に立つと、すべてが理屈通りにはいかない。そこが面白いんです。」
東芝入社直後、長谷川氏が任されたのはプラズマを用いた微細加工の開発だった。1980年代初頭、LSIの微細化が急速に進み、1ミクロン以下の加工精度が求められる時代が始まっていた。
「プラズマは気まぐれなんです。理論では説明できない挙動が多く、実験データの積み重ねでしか前に進めない。当時は装置の癖を体で覚えるしかありませんでした。」
彼はIBMやSiemensとの国際共同開発にも携わり、研究室での理論と量産現場のギャップを痛感する。
「研究で得た理想的なプロセス条件が、実際の量産では通用しない。現場で使える技術に落とし込むには“翻訳力”が必要なんです。」
この経験が、のちのキャリア全体を貫くテーマ――“技術を現場で生かす力”の原点となった。
■ DRAM撤退の教訓、四日市の再生
2000年代、東芝はDRAM事業からの撤退を決断する。
その瞬間、半導体部門を支えていた多くの技術者・技能者が他社へ出向し、工場の灯が消えた。
「工場の火が落とされ、関連会社を清算し、多くの人が他社に出向していった。あのときの悔しさや反省が、後のNANDフラッシュメモリー増産の力になりました。」
失敗を糧に、東芝は“四日市の再生”に動き出す。新たにNANDフラッシュメモリーの量産を担う拠点として、かつて静まり返っていた工場が再び動き出した。
「課題は山のようにありました。プロセスの安定化や稼働率の向上、微粒子対策などの歩留まり向上、材料、設備コスト削減…。
でも、そこで学んだのは“技術は現場でしか完成しない”ということ。理屈よりも、装置と向き合う人の感覚が最後の差を生むんです。」
装置1台のパラメータの微差が、工場全体の利益を左右する。
そんな極限の世界で、エンジニアたちは再び“戦える日本の製造技術”を作り上げていった。
■ NAND量産がもたらした変革
NANDフラッシュの量産成功は、単なる製品のヒットではなかった。
それは「製造現場が経営を動かす」時代の到来を象徴していた。
「プロセス開発・生産技術・調達の三位一体で動かなければ、グローバル競争には勝てません。どれか1つが強くても、全体最適が崩れる。」
2010年代、長谷川氏は東芝本社で生産企画部、調達部、生産技術センターを統括する立場に就く。
現場で得た経験を経営の言語に翻訳し、装置投資や歩留改善を事業戦略に結びつけていった。
「生産技術者の役割は、経営判断に“根拠ある数字”を与えること。歩留まり、サイクルタイム、OEE（総合設備効率）――現場の数字をどう経営の意思決定に活かすかが勝負です。」
こうして東芝のNAND事業は国際競争力を高め、後の四日市連合体制（キオクシア設立）へとつながっていく。
■ 現場から見た「技術の継承」
技術の進化は、知識の伝達ではなく“感覚の継承”だと長谷川氏は言う。
「今の若手は非常に優秀で、理論もデータも強い。ただ、現場で装置を“感じる”経験が少ない。プラズマの色や舞い、装置の動きや音…。そうした五感が、トラブルシューティングや改善のヒントになるんです。」
名古屋大学や大阪大学での指導でも、学生たちにあえて現場の空気を感じさせるという。
「装置を動かすと、理屈では説明できないことが起きる。そこに科学の出発点があります。
研究と量産を分けない、現場で考える研究者を育てたいですね。」
■ 若手へのメッセージ：「数字と感覚の両方を磨け」
40年にわたり現場と経営を見てきた長谷川氏が、いま若手に最も伝えたい言葉は“バランス”だ。
「AIやシミュレーションでほとんどの条件が予測できる時代ですが、現場には必ず“予測できないこと”があります。数字を信じつつ、自分の感覚を信じられる人――それが本当の技術者です。」
半導体製造は人の手から生まれる。
工程の自動化が進んでも、そこに宿る知恵と経験は変わらない。
「どんなに時代が変わっても、“現場で考え抜く力”だけは残ると思います。日本の半導体が再び世界で輝くためには、そこに立つ一人ひとりの技術者の感性と意思が必要なんです。」
【前後編を通して】
津村尚史氏が描く「技術の社会実装」と長谷川功宏氏が語った「NAND再生の現場」。
二人に共通していたのは、技術は人が磨くものという信念だ。
現場で考え、責任を持って行動する――。
その積み重ねが、日本の半導体産業を次のステージへと導いていく。
参考リンク
株式会社ジェイテックコーポレーション: https://www.j-tec.co.jp/
※本記事の内容は、株式会社ジェイテックコーポレーションへの独自取材に基づいて構成されています。