NVIDIAと協業拡大！東京エレクトロンがAI×ロボティクスで製造業DXを加速

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この記事のポイント

• 東京エレクトロン（TEL）はNVIDIAとの協業を拡大し、エージェント型AIとロボティクス分野を強化します。
• NVIDIAの「Agent Toolkit」と「Isaac」プラットフォームを活用し、DXソリューション「Epsira™」を推進します。
• デジタルツインによるロボット訓練・保守の効率化や、AIエージェントによるトラブルシューティングの高度化を目指します。
• これにより、製造業における生産性向上、歩留まり改善、装置稼働率向上、そして装置の自律化を実現します。

NVIDIAとの協業でAI・ロボティクス開発を強化

東京エレクトロン（TEL）は、エージェント型AIおよびロボティクスに関するソリューション開発において、NVIDIA社との協業をさらに拡大することを発表しました。この協業は、TELのデジタルトランスフォーメーション（DX）ソリューションコンセプトである「Epsira™」の推進を目的としています。

NVIDIAの先端技術を「Epsira™」に統合

具体的には、TELはNVIDIAの「Agent Toolkit」（NVIDIA NeMo、NVIDIA NIM、NVIDIA NemoClawの各ブループリントを含む）と、オープンロボット開発プラットフォーム「NVIDIA Isaac」を活用します。IsaacプラットフォームとNVIDIA Omniverseライブラリ（シミュレーション用）を統合することで、設計をデジタルツインに投入することが可能になります。

このデジタルツインの活用は、ロボットの保守において大きなメリットをもたらします。従来、ロボット保守には多様なツール構成が必要でしたが、デジタルツインを用いることで、ロボットの訓練と精度向上にかかる時間を大幅に短縮できます。

AIエージェントによる効率化とセキュリティ向上

AIエージェント開発においては、NVIDIA NeMoがエージェントの訓練、調整、評価を加速させます。さらに、NemoClawはエージェントの稼働を容易にし、運用時のセキュリティを向上させる役割を担います。

「Epsira™」が目指す製造現場の変革

TELの「Epsira™」は、フィールド生産性向上、歩留まり改善、装置稼働率向上を通じて、顧客の生産性向上を目指すソリューションです。AIを活用したMTBWC (Mean Time Between Wet Cleaning) 延長分析、ロボットによる高精度メンテナンス、トラブルシューティング分析などの技術を提供し、定期的なメンテナンスの大幅な削減を実現します。

このDXインフラにより、顧客はデータを活用して生産性向上とスキルフリー（熟練者でなくても操作可能）な稼働を実現し、ばらつきの最小化と装置安定性の最大化、ひいては装置の自律化を目指すことが可能となります。TELは、この緊密なコラボレーションを通じて、最先端の技術と確かなサービスで、社会の発展に貢献することを目指しています。

関係者のコメント

TELのコーポレート製品開発本部 松島 圭一 執行役員は、「AI時代の世界的リーダーであるNVIDIA社とのコラボレーションが一段と深まったことを喜ばしく思います。これにより、当社のEpsira™プログラムの活用範囲はさらに広がります。ロボット保守とAIトラブルシューティング分析によってお客さまの製造能力が強化され、生産性がさらに向上するでしょう」と述べています。

NVIDIA社のロボティクスおよびエッジAIエコシステム担当シニアディレクター、 Amit Goel 氏は、「半導体製造は新たな自動化の時代を迎えています。半導体ファブではあらゆる面で生産環境が複雑化していますが、ロボットの活用によって稼働率、精度、強じん性の向上が期待できます。TELはNVIDIAのエージェント型AIおよびフィジカルAIのモデルとフレームワークを活用し、ロボット保守、AIトラブルシューティング、ファブ運用のさらなるインテリジェント化を進めるでしょう」とコメントしています。

Epsira™の詳細はこちら: https://www.tel.co.jp/news/topics/2025/20251217_001.html

NVIDIA IsaacおよびNVIDIA Omniverseの詳細はこちら: https://developer.nvidia.com/isaac （英語）、 https://www.nvidia.com/ja-jp/omniverse/

Epsiraは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。

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