リンデ、エア・リキード、大陽日酸の動きからみる――特殊ガスは「材料」から「安定稼働支援」へ
半導体工場で使う窒素、酸素、アルゴン、水素、ヘリウム、各種材料ガスは、これまで「必要な原材料」や「ユーティリティ」の一部として語られることが多かった。だが、2025年春以降の主要各社の開示を追うと、
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