SEMICON.TODAY 「水がある」だけでは足りない!──半導体拠点が進める水マネジメント ビジネス投資 半導体や電子部品の製造で水が重視されるのは、冷却のためだけではない。微粒子やイオン汚染が歩留まりに直結する前工程(ウエハ工程)では、洗浄・すすぎに使う水の純度が品質そのものになる。加えて、超純水(U 2026.03.30 06:00