JSR・信越化学・TOKが纏り広げるEUVレジスト覇権争い

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半導体の微細化が進む中、EUV技術（極端紫外線リソグラフィ）は2nm以下のプロセスノードに対応するための重要技術として最新技術開発を突き進めている。

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