リソグラフィ専門委員会主催講演会「リソグラフィを支える光源技術の進展」「日立ハイテクが取り組む次世代半導体パターン向け計測技術開発」
■申し込み締め切りは、1/23(金)までとなっております。
対象
・対面：SEAJリソグラフィ専門委員会
・WEB（Teams）： SEAJ 会員企業
主旨
SEAJリソグラフィ専門委員会では、最新のリソグラフィ技術や各種デバイス（Logic、DRAM、SCMなど）に関する技術・市場動向を把握するため、定期的に講演会を開催しています。
今回の講演会では光源関連技術および計測技術について、専門家をお招きしてご講演いただきます。
また、参加者の皆様との意見交換も通じて、委員の皆様の知見を深め、企業間の技術的な相乗効果を生み出す場となることを目指しています。
開催日程・場所
セミナーテーブル
お申し込み
開催日程
開催場所
参加申込
2026年
1月
28日(水)
SEAJ事務局 Teams （ハイブリッド開催）
講師
ギガフォトン株式会社 古巻 貴光 氏（KOMAKI,Takamitsu）
株式会社日立ハイテク 評価システム製品本部 評価ソリューション開発部 椙江 政貴 氏（SUGIE,Masaki）
内容
講演１：「リソグラフィを支える光源技術の進展」
・半導体デバイスの微細化、生産性向上のために、半導体露光装置用光源は短波長化・狭帯域化をすすめてきました。
・同時にギガフォトンはレーザ光源の環境負荷低減に積極的に取り組み、ガス消費量・電力消費量の大幅削減を達成しております。
・最新のArFi用光源「GT80A」では、スペックルコントラスト低減技術によりEPEの低減を実現しています。さらに、ギガフォトンが提案する機能iLI、BWT機能によるEPE低減についての紹介を行います。
講演２：「日立ハイテクが取り組む次世代半導体パターン向け計測技術開発」
日立ハイテクが取り組んでいる先端半導体パターンに対する計測技術の研究成果を紹介します。AIチップが牽引するEUVLによる微細化およびデバイス構造3D化の技術進化により、パターン形状の高精度な計測、欠陥検査、膨大なパターンの効率的な評価など、多様な検査計測技術対応が求められています。
本発表では、日立ハイテクの検査・計測装置を用いた微細パターンの低加速計測、大規模CHパターンの高速検査計測などの事例を紹介し、High-NA EUV世代のプロセス開発や品質管理に貢献する取り組みについて報告します。
タイムテーブル
テーブル2セル
スケジュール
講義名
15:20
接続開始
15:30
開催挨拶（SEAJリソグラフィ専門委員会委員長）
古巻氏ご講演
16:00
質疑応答
16:10
椙江氏ご講演
16:40
質疑応答
16:50
閉会挨拶接続終了
■費用■
無料 (SEAJ会員企業）
■お申し込み■
お申込み後、すぐに自動返信メールが送信されます。メールが届かない場合は、正常に受付が完了していない可能性がございます。その際は、お手数ですが下記の事務局担当までお問い合わせください。
担当：SEAJ事務局 大久保 e-mail: souchi.seigyo★Seaj.or.jp TEL：03-5357-1542(直通) 03-3261-8260(代表)
↑上記の「★」記号を「@」半角記号に置き換えて下さい。
【事前準備のお願い】
Teamsに接続する為に、以下について準備をお願いします。
インターネットに接続できるPC音声デバイス（マイク・スピーカー・ヘッドセット 等）
◇サポートされているブラウザMicrosoft Edge Chrome 他Teams講演会で利用するPCの環境を事前に確認の上、ご利用ください。
あらかじめアプリをインストールしておくとスムーズにゲストとして利用をすることができますが、インストールせず、ブラウザでの参加も可能です。
また音声/カメラデバイスの設定をテストしていただくことをお勧めします。
◇テスト通話を行うテスト呼び出しを行う場合は、設定 Teams の上部にあるプロファイル画像の横にある [ その他のオプションを表示する場合に選択します など] を選択し、[設定> デバイス] を選択します。 [オーディオ デバイス] で [テスト通話を行う] を選択します。※詳細はMicrosoft Teamsのページへ
■当日の参加手順について■
頁トップの「20260128_当日のURL_PW.pdf」（2～3日前に掲載予定）をクリックし、記載の接続URLにアクセスしてください。
（アプリをインストールしない場合はWebブラウザが起動）Teams講演会の画面が開きます。
カメラの使用許可を求められる場合があります。「ブロック」を選択して構いません。
[名前を入力] を入力し、[参加] をクリックします。オンライン講演会開催中に表示される名前を入力可能な場合は、「会社名」「氏名」がわかるようにして、事務局の出欠確認にご協力ください。 例）SEAJ大久保
アクセスするとすぐにTeams会議の画面が表示されます。
■その他Teams使用の際の注意事項■
皆様におかれましては、録音/録画はご遠慮下さい。
事務局では、運営の参考にする為、録画させていただく場合がございます。予めご了承ください。
ご質問の仕方について①講演中は「Q&A」をご利用ください。講演終了後に回答していただく予定です。 ②講演終了後は「挙手」をご利用ください。「挙手」の上、司会者の指示に従いご発言下さい。※ご質問はできるだけ早い方から順に対応します。
出典: 元記事を読む
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順次改善に努めてまいりますので、参考情報としてご活用いただき、必要に応じて原文の確認をおすすめいたします。