次世代半導体計測をリードするアーロン・チュー氏

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この記事のポイント

• アーロン・チュー氏は、半導体産業における極端紫外線（EUV）を用いた微細寸法（CD）計測の専門家です。
• EUV光を活用した新しい計測手法の開発に貢献しており、半導体製造の精度向上に寄与しています。
• 彼の研究は、将来の微細化に対応するための重要な技術基盤となります。
• 発表されている論文は、EUV光を用いた回折計測やエリプソメトリーに関するものです。

アーロン・チュー氏について

アーロン・チュー（Aaron Chew）氏は、NIST（米国国立標準技術研究所）のSurface and Interface Metrology Groupに所属し、極端紫外線（EUV）を用いた計測技術、特に微細寸法（Critical Dimension: CD）の計測分野で活躍しています。

連絡先:
Email: aaron.chew@nist.gov
電話: (301) 975-2481
ORCID iD: 0000-0003-0448-6215

主な研究業績と論文

チュー氏の研究は、半導体産業における微細化の進展に伴い、より高精度な計測技術が求められる中で、EUV光の利用に焦点を当てています。

極端紫外線（EUV）を活用した微細寸法計測

半導体産業では、従来、可視光や紫外線の波長が光学式微細寸法（OCD）計測に用いられてきました。しかし、製造される半導体の回路パターンがさらに微細化するにつれて、これらの波長では限界が見え始めています。チュー氏らの研究は、EUV光というより短い波長を用いることで、この課題を克服しようとするものです。

論文リスト

以下に、アーロン・チュー氏が著者として名を連ねる主要な論文をいくつか紹介します。

「Harnessing the extreme ultraviolet for critical dimension metrology」（2026年3月17日）

著者: Bryan Barnes, Purnima P. Balakrishnan, John Burnett, Aaron Chew, Colton Dudley, Thomas Germer, Steven Grantham, Stephanie Moffitt, Eric Shirley, Martin Sohn, Daniel Sunday

概要: この論文は、EUV光を微細寸法計測に活用する手法について論じています。半導体産業が直面する回路パターンの微細化という課題に対し、EUV光がどのように貢献できるかを示唆しています。

「Lab-based multi-wavelength EUV diffractometry for critical dimension metrology」（2025年4月24日）

著者: Bryan Barnes, Aaron Chew, Nicholas Jenkins, Yunzhe Shao, Martin Sohn, Regis Kline, Daniel Sunday, Purnima Balakrishnan, Thomas Germer, Steven Grantham, Clay Klein, Stephanie Moffitt, Eric Shirley, Henry Kapteyn, MARGARET MURNANE

概要: この研究では、実験室環境下での多波長EUV回折計測による微細寸法計測に焦点を当てています。ロジック半導体製造におけるCD計測のために、EUV波長技術が開発されている背景と、その初期段階における研究成果を報告しています。

「Ellipsometry in the EUV Regime」（2025年4月24日）

著者: Aaron Chew, Bryan Barnes, Eric Shirley, Thomas Germer

概要: 本論文では、シンクロトロン光源SURF-IIIから得られるEUV光を用いたエリプソメーターの感度について提案・分析しています。EUV領域でのエリプソメトリーは、材料の薄膜特性や表面構造の精密な評価に貢献することが期待されます。

データおよびソフトウェア公開

チュー氏らは、研究成果の一部として、計測データや解析結果も公開しています。例えば、「Lab-based multi-wavelength EUV diffractometry for critical dimension metrology」に関連するデータセットでは、EUV回折計測の測定データ、それらのデータに対するシミュレーションフィット、およびパラメータ値とその不確かさが提供されています。

（注: 本記事は公開されている情報に基づき作成されており、最新の研究動向については、関連する論文や発表をご確認ください。）

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