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コロラド鉱山大学賞は、最も寛大な寄付者に贈られます。
研究では、エッチング選択性、熱ALDなどの改善方法を探求しています。
ラムリサーチは、コロラド鉱山大学(コロラド州ゴールデン)より、過去10年間に同大学に100万ドル以上の学術研究資金を寄付したことが評価され、同大学から表彰されました。
ラムのエッチング製品グループと堆積製品グループ(DPG)が主導するラムの慈善活動には、以下のものが含まれます。
ラムの誘電体エッチンググループと化学工学教授のスミット・アガーワル博士による研究への寄付として、約90万ドルが寄付されました。
2015年と2016年に実施された3つのUnlock Ideasプロジェクトの一環として、CTOオフィス(OCTO)からアガーワル博士との研究に75,000ドルの寄付を受けました。
ラム研究所の誘電体エッチングおよび誘電体堆積グループから、スポンサー付き研究契約またはサービス契約に基づき、アガーワル博士との研究に300,000ドル以上の資金が提供を受けました。
ラム研究所、10年間の貢献を称えて表彰
同大学は最近、創立150周年を記念し、最も寛大な寄付者にMines@150 Visionary賞を授与しました。
MINES@150ベルの台座には、ラム氏の貢献を称える「Mines@150 Visionary(Mines@150の先見者)」の銘板が設置され、10月4日にキャンパス内で行われた式典で除幕されました。
ポール・ジョンソン学長も、ラム氏の10年間の貢献に対し、ラム社のグローバル製品グループ担当上級副社長であるセシャ・バラダラジャン氏への感謝の手紙の中で感謝の意を表しました。
ラム氏とアガーワル博士の共同研究は、次世代デバイスの製造を可能にするプラズマ支援材料処理を含む、太陽電池および電子材料の合成と特性評価に関する同博士の研究を支援しています。
分子層堆積とエッチングに関するプロジェクトは継続中
誘電体エッチング工学ディレクターのミンメイ・ワン氏と彼女のチームは現在、2017年に開始した2つのプロジェクトをアガーワル教授と共に主導しています。1つはエッチング選択性を向上させるための分子層堆積(MLD)パッシベーションに関するもので、もう1つはハロゲン化学と酸化物および窒化物エッチングへの応用に関する研究です。
DPG化学センター・オブ・エクセレンスのシニアテクニカルディレクター兼責任者であるデニス・ハウスマン氏(最近、ラム社優秀技術功績賞を受賞)は、2016年から2020年にかけて、アガーワル教授と共に、阻害剤を用いた熱原子層堆積(ALD)プロセスの選択堆積に関するプロジェクトを主導しました。
1874年に設立されたコロラド鉱山大学は、主に工学、科学、数学の分野で学部および大学院の学位を提供しています。2024年秋時点で、同校には学部生6,204名、大学院生1,854名が在籍していました。
ラム社と米国の大学とのパートナーシップは継続中
ラム社は、AI時代の半導体業界が直面する数々の課題に対する革新的なソリューションを生み出す、米国の主要大学における研究への投資を継続しています。
研究への寄付や共同研究に加え、ラム社は未来の製造業の労働力育成にも貢献しています。ラムリサーチは、ポートランド・コミュニティカレッジとクラカマス・コミュニティカレッジのマイクロエレクトロニクス専攻の学生を対象とした見習いプログラムを支援しています。オハイオ州に拠点を置くラムリサーチの完全子会社であるシルフェックスは、クラーク州立コミュニティカレッジと提携し、40時間の高度製造業研修プログラムを開発しています。
1 寄付金ベースの研究は、教員に制約を課しません。大学は研究成果を自由に発表することができ、ラムリサーチに成果物を提供する必要はありません。寄付金ベースの研究は、基礎研究および競争前研究に適しています。スポンサード研究は通常、タイムライン、成果物を含む法的契約に基づいて実施され、教員はラムリサーチが開示を希望しない特定の情報の共有を制限されます。
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